Latihan Soal #08

1. Uraikan secara garis besarnya, apa yang Sdr ketahui tentang: (a) semikonduktor, (b) silikon intrinsik, (c) silikon ekstrinsik, (d) silikon jenis p, (e) silikon n
2. Apa yang dimaksud dengan: (a) lapisan substrat, (b) lapisan epitaksial, (c) lapisan silikon dioksida, (d) wafer silikon, (e) buried layer
3. Terangkan apa yang dimaksud dengan: (a) proses difusi, (b)proses fotolitografi, (c) koefisien difusi, (d) solid solubility, (e) profil impurity
4. Gambarkan penampang struktur sebuah wafer silikon yang terdiri dari lapisan substrat jenis p, lapisan epitaksial jenis n, lapisan silikon dioksida, cantumkan ketebalan dari setiap lapisan.
5. Jelaskan secara singkat proses fotolitografi yang menggunakan negative photoresist lengkap dengan gambar penampang strukturnya setiap tahapnya.
6. Jelaskan secara singkat proses fotolitografi yang menggunakan positive photoresist lengkap dengan gambar penampang strukturnya setiap tahapnya.
7. Terangkan proses fabrikasi sebuah transistor bipolar npn menjadi IC monolitik, dengan metoda difusi epitaksial, menurut tahap epitaxial growth, isolation diffusion, base diffusion, emitter diffusion, dan aluminum metalization.
8. Terangkan proses fabrikasi IC dengan teknologi bipolar untuk sebuah transistor bipolar npn, yang tidak mengandung lapisan terpendam (buried layer). Untuk setiap tahap lengkapi dengan gambar penampang strukturnya.
9. Terangkan proses fabrikasi IC dengan teknologi bipolar untuk sebuah transistor bipolar npn, yang mengandung lapisan terpendam (buried layer). Untuk setiap tahap lemgkapi dengan gambar penampang strukturnya.
10. Terangkan proses fabrikasi IC dengan teknologi MOS untuk sebuah nMOS, lengkap dengan gambar penampang struktur untuk setiap tahapnya.
11. Sebuah lapisan epitaksial jenis-n mempunyai resistivitas = 0,5 ohm.cm yang rata (uniform) akan mengalami difusi boron dengan konsentrasi = 5 x 10¹⁸ atom/cm³ dipermukaan lapisan epitaksial konstan. Jika proses difusi boron itu dilakukan pada suhu 1130^oC selama 2 jam, berapa kedalaman pn junction yang terbentuk di dalam lapisan epitaksial itu.

back